◆  量測性能優異
◆  解析度高
◆  重複性佳

NIST標準片100nm連續量測20次，標準差<0.34nm。

◆  人性化介面，操作容易

  ◆ 具備帳號登入功能，易於管理User manager log-in software

  ◆ 區分進階與一般量測功能Engineering mode and OP mode

  ◆ 可計算多點、多次量測平均Multi-scan average mode

  ◆ 可自動砍平面Auto-flatten

◆  超簡單人性化中文介面，操作容易

◆  特殊力量回饋設計，不損傷樣品

◆  適合大尺寸樣品，不需破片即可量測