基本上量光阻跟PSS片的探針不建議交替量測，雖然我們的機台可以用同一種探針進行兩種片子的量測（只要更改參數即可），但量PR較容易沾黏，探針壽命可能會縮短，為此客戶在購買機台時，我們會附上兩個探針holder，一個專門量ADI片子，另一個專門量AEI的片子，如此一來就沒有所謂污染的問題了！