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FORCE 原力精密儀器

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首頁 原力產品 LED/PSS產線用設備 PSS用AFM
 
PSS用AFM
 

檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用，最符合產線使用之AFM

 
           
 
 

 

 Functions  
 Sample stage  For 2-inch/4-inch wafer
 Scan range  15μm/ 15 μm/ 15 μm
 Imaging throughput  ≤ 80 seconds condition： (512 pixel)2, (10 μm)2
 3σ Repeatability (400 measurements)  height: ≤ 5 nm
 Probe compatibility  all major manufacturers, including anti-wear
 and high-aspect-ratio probes
 Auto PSS measurement  Yes

 
 
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