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PSS直徑光學量測
 

精準且快速之PSS直徑檢測設備!

 

                                 
 
 

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◆  數據正確可靠,與SEM之數據一致

◆  自動對焦與自動計算直徑,避免人為誤差。

◆  同時適用於光阻片(ADI)與PSS成品片(AEI)。

◆  單片放置或使用機械手臂取放片,避免人為污染。

◆  適合產線量產使用,可真正達到片片全檢之量測。

   近期已開發出 4"   /   6"  機種,詳細規格請來電詢問。


 

 

 
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