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PSS直徑光學量測
 

精準且快速之PSS直徑檢測設備!

 

                                 
 
 

 

Specification

Model

PHi-One

PHi-200

直徑測量範圍
(Pitch為3um)
底寬為 1.8um~2.7um之PSS 底寬為1.8um~2.7um之PSS
樣品尺寸 2”、4” ,可吸真空 2”、4” ,可吸真空
光學倍率 100X 100X
量測位置 中間一點、五點量測模式(optional) 中間一點、五點量測模式(optional)
Z軸自動對焦
測量重現性(1 σ) 0.5 % 0.5 %
軟體計算功能 自動計算直徑
(mean, max, min, st.)
自動計算直徑
(mean, max, min, st.)
自動Sorting -
晶圓輸送方式 手動 自動
進料/出料治具 - PP type 晶舟* 5 sets
2” 、4” 可共用
進出料卡匣設定 - 2進3出或原進原出
搬送手臂 - 3軸控制(X,Y,Z)
晶圓吸著真空確認
晶圓進出料方式 - 進料: 由下而上
出料: 由上而下
資料統計 - 可將直徑資料彙整
成一檔案製程資料統計
控制用電腦 CPU: 1GHz; RAM: 2GB;
USB 2.0
CPU: 1GHz; RAM: 2GB;
USB 2.0
防震系統
尺寸
(W×D×H, mm)
600×900×1300
560×610×730
850×1300×2300

 

 
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