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Sapphire專用雷射刻號機:LM-2400
 

領先業界之自動精準高速刻號機,超值經濟首選

 

                                 
 
 
 項目規格  內容
 雷射列印頭  CO2 Laser
 雷射管冷卻  Air cooling
 供料/收料治具  卡匣*4 set 2-inch4-inch共用
 (預設22)
 晶圓尺寸  2-inch4-inch (6-inch optional)
 搬送手臂  4軸控制(X,Y,Z,θ)晶圓吸著真空確認
 晶圓進出料方式  供料:由下而上收料:由上而下
 列印定位  CCD檢測晶圓X,Y,θ偏移量並自動補正
 產能  15 sec/(單面)
 列印方式  可選擇正/反面
 FFU  機台加裝FFU保持正壓
 HEPA過濾正壓  機台加裝HEPA (0.3μm)
 電腦  工業電腦+觸控螢幕
 電源  AC220V/單相/50Hz(T型插座)
 尺寸  140cm(W)/85cm(D)/225cm(H)

 硬體項目:

 
 30CO2雷射  一組
 2/4吋共用卡匣  4
 4軸控制用自動取放片robot  一組
 視覺檢測晶圓偏移量camera  一組
 控制用電腦+觸控螢幕  一組
 FFU  一組
 HEPA過濾正壓(0.3um)  一組

 

 
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