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STEP series
 

適用業界不同大尺寸基板之量測,有4吋、6吋、10吋、20吋等各種選擇

 

 
 

 

  量測性能優異
  解析度高
◆  重複性佳

NIST標準片100nm連續量測20次,標準差<0.34nm。

 

  人性化介面,操作容易

  ◆ 具備帳號登入功能,易於管理User manager log-in software

  ◆ 區分進階與一般量測功能Engineering mode and OP mode

  ◆ 可計算多點、多次量測平均Multi-scan average mode

  ◆ 可自動砍平面Auto-flatten

◆  超簡單人性化中文介面,操作容易

   

 

◆  特殊力量回饋設計,不損傷樣品

◆  適合大尺寸樣品,不需破片即可量測

  

 

 
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