原子級解析度，可量測奈米結構、表面形貌、表面粗糙度、奈米元件線寬尺寸測量、奈米顆粒量測。

適合各種材料、聚合物、薄膜、塗層與微元件之表面檢測，亦可量測磁性、電性、溫度分佈。

選配功能：

◆  磁力顯微鏡Magnetic Force Microscopy(MFM)

磁力顯微鏡Magnetic Force Microscopy(MFM)是在樣品表面掃描時，取得磁場變化，進而得到MFM圖像。

硬碟磁區MFM圖(15 X 15μm)   Magnetic domains in a hard disk sample

◆  靜電力顯微鏡Electric Force Microscopy (EFM)

靜電力顯微鏡Electric Force Microscopy (EFM) 是在針尖和樣品之間加施加電壓，針尖的共振相位會隨著電場梯度變化而改變，進而得到EFM圖像。

微導線電荷分佈EFM圖(15 X 15μm)

◆  壓電力顯微鏡PiezoresponseForce Microscopy (PFM)

壓電力顯微鏡PiezoresponseForce Microscopy (PFM)是利用探針施加電壓，使壓電材料產生電致伸縮，從而檢測變化資訊。

壓電材料鐵酸鉍(BiFeO3)PFM圖(2 X 2μm)

◆  導電原子力顯微鏡Conductive Atomic Force Microscopy(C-AFM)

導電原子力顯微鏡Conductive Atomic Force Microscopy(CAFM)是利用探針在樣品施加偏壓，檢測樣品表面形貌和電流分佈及變化資訊。

微流道電流分佈CAFM圖(15 X 15μm)

◆   掃描熱顯微鏡Scanning Thermal Microscopy(SThM)

掃描熱顯微鏡Scanning Thermal Microscopy(SThM)是在原有的AFM加入控溫配件進行量測，取得溫度變化資訊。

微流道溫度分佈SThM圖(15 X 15μm)