檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用,最符合產線使用之AFM
具備接觸式與輕敲式兩種掃描模式,操作靈活容易,高解析度與實用性,適合尖端奈米科技之應用與研究