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◆ 更換探針容易，不需對雷射光路，OP可快速上手。
◆ 輕鬆取放wafer，避免操作員手直接接觸。
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萃盤治具 |
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萃盤治具─實際操作 |
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◆ 非破壞性檢測，檢測完可出貨。
◆ 突破傳統AFM速度極限，最快40秒獲得PSS數據。
◆ 解析度遠優於光學檢測儀器，輕鬆量測2-1-1.6um之PSS結構。
◆ 數據重複性極高。
◆ 適合量產線上使用之操作介面，可分工程師mode與OP mode。
◆ 自動量測所需高度、底寬、Pitch，減少人為量測誤差。
◆ 可自動產生excel報表，節省人力。
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機型選擇： |
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單片手動版 型號：PS-88 AFM |
多片萃盤版 型號：PS-128 AFM |
機械手臂取放片自動版
型號：PS-128R AFM |
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