◆  量測性能優異
◆  解析度高
◆  重複性佳

NIST標準片100nm連續量測20次，標準差<0.34nm。

◆  儀器架設簡單，透過USB與電腦相連，只需電腦兩個USB接孔，電源110V

◆  機台體積小，不佔空間

◆  人性化介面，操作容易

   ◆ 具備帳號登入功能，易於管理User manager log-in software

   ◆ 區分進階與一般量測功能Engineering mode and OP mode

   ◆ 可計算多點、多次量測平均Multi-scan average mode

   ◆ 可自動砍平面Auto-flatten