檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用,最符合產線使用之AFM
◆ LED圖案化藍寶石基板(PSS)結構尺寸檢測
◆ 空晶圓粗糙度量測
◆ 磊晶後形貌量測