◆  採用Area scan 方式，解析度較高
◆  適用於PW, PR, ADI, AEI不同片子之缺陷檢測
◆  自動化取放片與sorting分類
◆  最多卡匣式設計
◆  可自動對焦、自動補償光源
◆  可自動判別最多缺陷種類
◆  可讀取雷射刻號鍵入資料庫
◆  景深淺，檢測結果不易受晶背影響(PR尤其適用)