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Specification
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Model
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PHi-One
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PHi-200
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直徑測量範圍
(Pitch為3um) |
底寬為 1.8um~2.7um之PSS |
底寬為1.8um~2.7um之PSS |
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樣品尺寸 |
2”、4” ,可吸真空 |
2”、4” ,可吸真空 |
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光學倍率 |
100X |
100X |
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量測位置 |
中間一點、五點量測模式(optional) |
中間一點、五點量測模式(optional) |
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Z軸自動對焦 |
是 |
是 |
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測量重現性(1 σ) |
0.5 % |
0.5 % |
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軟體計算功能 |
自動計算直徑
（mean, max, min, st.） |
自動計算直徑
（mean, max, min, st.） |
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自動Sorting |
- |
是 |
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晶圓輸送方式 |
手動 |
自動 |
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進料/出料治具 |
- |
PP type 晶舟* 5 sets
2” 、4” 可共用 |
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進出料卡匣設定 |
- |
2進3出或原進原出 |
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搬送手臂 |
- |
3軸控制(X,Y,Z)
晶圓吸著真空確認 |
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晶圓進出料方式 |
- |
進料: 由下而上
出料: 由上而下 |
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資料統計 |
- |
可將直徑資料彙整
成一檔案製程資料統計 |
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控制用電腦 |
CPU: 1GHz; RAM: 2GB;
USB 2.0 |
CPU: 1GHz; RAM: 2GB;
USB 2.0 |
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防震系統 |
有 |
有 |
尺寸
（W×D×H, mm） |
600×900×1300
560×610×730 |
850×1300×2300 |
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