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項目規格 |
內容 |
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雷射列印頭 |
CO2 Laser |
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雷射管冷卻 |
Air cooling |
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供料/收料治具 |
卡匣*4 set 2-inch、4-inch共用
(預設2進2出) |
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晶圓尺寸 |
2-inch、4-inch (6-inch optional) |
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搬送手臂 |
4軸控制(X,Y,Z,θ)晶圓吸著真空確認 |
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晶圓進出料方式 |
供料:由下而上收料:由上而下 |
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列印定位 |
CCD檢測晶圓X,Y,θ偏移量並自動補正 |
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產能 |
15 sec/片(單面) |
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列印方式 |
可選擇正/反面 |
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FFU |
機台加裝FFU保持正壓 |
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HEPA過濾正壓 |
機台加裝HEPA (0.3μm) |
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電腦 |
工業電腦+觸控螢幕 |
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電源 |
AC220V/單相/50Hz(T型插座) |
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尺寸 |
140cm(W)/85cm(D)/225cm(H) |
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硬體項目：
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30瓦CO2雷射 |
一組 |
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2/4吋共用卡匣 |
4組 |
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4軸控制用自動取放片robot |
一組 |
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視覺檢測晶圓偏移量camera |
一組 |
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控制用電腦+觸控螢幕 |
一組 |
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FFU |
一組 |
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HEPA過濾正壓(0.3um) |
一組 |
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