◆  更換探針容易，不需對雷射光路，OP可快速上手。

安裝處
安裝
安裝完成

◆  輕鬆取放wafer，避免操作員手直接接觸。

萃盤治具

萃盤治具─實際操作

萃盤治具─實際操作

◆  非破壞性檢測，檢測完可出貨。

◆  突破傳統AFM速度極限，最快40秒獲得PSS數據。

◆  解析度遠優於光學檢測儀器，輕鬆量測2-1-1.6um之PSS結構。

◆  數據重複性極高。

◆  適合量產線上使用之操作介面，可分工程師mode與OP mode。

◆  自動量測所需高度、底寬、Pitch，減少人為量測誤差。

◆  可自動產生excel報表，節省人力。

機型選擇：
單片手動版      型號：PS-88 AFM	多片萃盤版      型號：PS-128 AFM	機械手臂取放片自動版   型號：PS-128R AFM