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EZSTEP
 

最高解析度膜厚量測,輕巧不佔空間

 

                      
 
 

  量測性能優異
  解析度高
  重複性佳

NIST標準片100nm連續量測20次,標準差<0.34nm。

◆  儀器架設簡單,透過USB與電腦相連,只需電腦兩個USB接孔,電源110V

      

◆  機台體積小,不佔空間

  人性化介面,操作容易

   ◆ 具備帳號登入功能,易於管理User manager log-in software

   ◆ 區分進階與一般量測功能Engineering mode and OP mode

   ◆ 可計算多點、多次量測平均Multi-scan average mode

   ◆ 可自動砍平面Auto-flatten


    

   

 

 
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