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EZSTEP
 

最高解析度膜厚量測,輕巧不佔空間

 

                      
 
 
光學防震桌板
Natural frequency:2.5~2.7Hs
Vibration isolation method:Special-diaphragm air spring
Damping method:Air damping using an orifice
Load weight:<55Kg
高倍顯微系統
200X
高度校正片
美國NIST高度校正片
Vertical Range: 100nm/1μm/10μm/24μm

 

 
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