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PSS用AFM
 

檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用,最符合產線使用之AFM

 

           
 
 

◆  更換探針容易,不需對雷射光路,OP可快速上手。

安裝處
安裝
  安裝完成
 

◆  輕鬆取放wafer,避免操作員手直接接觸。

萃盤治具
 萃盤治具─實際操作

  非破壞性檢測,檢測完可出貨。

◆  突破傳統AFM速度極限,最快40秒獲得PSS數據。

◆  解析度遠優於光學檢測儀器,輕鬆量測2-1-1.6um之PSS結構。

◆  數據重複性極高。

◆  適合量產線上使用之操作介面,可分工程師mode與OP mode。

◆  自動量測所需高度、底寬、Pitch,減少人為量測誤差。

◆  可自動產生excel報表,節省人力。

  單片手動版      型號:PS-88 AFM   多片萃盤版      型號:PS-128 AFM   機械手臂取放片自動版
  型號:PS-128R AFM

 

 
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