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PSS用AFM
 

檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用,最符合產線使用之AFM

 

           
 
 

◆  LED圖案化藍寶石基板(PSS)結構尺寸檢測

◆  空晶圓粗糙度量測
 
◆  磊晶後形貌量測

 

 
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