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PSS用AFM
 

檢測sapphire拋光片粗糙度、高亮度LED圖案化藍寶石基板PSS結構與磊晶wafer專用,最符合產線使用之AFM

 

           
 
 
Functions
Sample stage For 2-inch/4-inch wafer
Scan range 15μm/ 15 μm/ 15 μm
Imaging throughput ≤ 80 seconds  condition:(512 pixel)2, (10 μm)2
3σ Repeatability (400 measurements) height: ≤ 5 nm
Probe compatibility all major manufacturers, including anti-wear
and high-aspect-ratio probes
Auto PSS measurement Yes

 

 
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