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採用獨特掃針式探針,免對光點,換針容易,樣品尺寸易調整 。 實際案例:精材科技-晶圓背面粗糙度量測
scanner整合Olympus IX71 倒立式光學顯微鏡,可進行穿透與接收之實驗。 實際案例:中研院物理所
採用開放式架構,模組下方可自行架設光路 。 實際案例:清大化學