原子級解析度,可量測奈米結構、表面形貌、表面粗糙度、奈米元件線寬尺寸測量、奈米顆粒量測。
適合各種材料、聚合物、薄膜、塗層與微元件之表面檢測,亦可量測磁性、電性、溫度分佈。
選配功能:
◆ 磁力顯微鏡Magnetic Force Microscopy(MFM)
磁力顯微鏡Magnetic Force Microscopy(MFM)是在樣品表面掃描時,取得磁場變化,進而得到MFM圖像。
硬碟磁區MFM圖(15 X 15μm)
Magnetic domains in a hard disk sample |
![](/images/ckfinder/images/20120212_15h06m29s_Phase_L_gwy.png) |
◆ 靜電力顯微鏡Electric Force Microscopy (EFM)
靜電力顯微鏡Electric Force Microscopy (EFM) 是在針尖和樣品之間加施加電壓,針尖的共振相位會隨著電場梯度變化而改變,進而得到EFM圖像。
微導線電荷分佈EFM圖(15 X 15μm) |
![](/images/ckfinder/images/20120201_15h40m22s_Phase_L_gwy.png) |
◆ 壓電力顯微鏡PiezoresponseForce Microscopy (PFM)
壓電力顯微鏡PiezoresponseForce Microscopy (PFM)是利用探針施加電壓,使壓電材料產生電致伸縮,從而檢測變化資訊。
壓電材料鐵酸鉍(BiFeO3)PFM圖(2 X 2μm) |
![](/images/ckfinder/images/20120322_17h33m34s_PFM_gwy.png) |
◆ 導電原子力顯微鏡Conductive Atomic Force Microscopy(C-AFM)
導電原子力顯微鏡Conductive Atomic Force Microscopy(CAFM)是利用探針在樣品施加偏壓,檢測樣品表面形貌和電流分佈及變化資訊。
微流道電流分佈CAFM圖(15 X 15μm) |
![](/images/ckfinder/images/20120529_18h34m03s_Aux1_1.png) |
◆ 掃描熱顯微鏡Scanning Thermal Microscopy(SThM)
掃描熱顯微鏡Scanning Thermal Microscopy(SThM)是在原有的AFM加入控溫配件進行量測,取得溫度變化資訊。
微流道溫度分佈SThM圖(15 X 15μm) |
![](/images/ckfinder/images/20100728_13h57m30s_Probe_Trace_Data (2).png) |
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